- TDR/VNA測定装置
大量の基板を24時間無人で測定可能。
省人化を実現するオートローダータイプ。
HTA3540AL
オートローダー付 TDR測定システム
HTA3540AL
中央に測定部、左右にオートローダー/アンローダーを接続したオートローダータイプ。520枚 * の基板をセットして無人運転が可能です。右側のローダーから測定部へ搬送された基板は、測定完了後、OK基板は左側のアンローダーへ搬送され、NG基板はNGストッカーに80枚 * ストックされます。静電気を除去する除電装置(イオナイザー)は標準装備です。* 基板厚1mm時
オペレーターは基板をローダーにセットするだけ。基板が一枚ずつ自動的に測定部に送られます。測定後はOK、NG基板を分けてスタックすることができます。
スペック
HTA3540AL | ||
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最大検査エリア | 350 x 400 mm |
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最大基板サイズ | 350 x 400 mm |
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最小基板サイズ | 80 x 60 mm |
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最大基板厚 | 2 mm |
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クランプ方式 | バキューム方式 |
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最大ストック数 | 520枚(基板厚1mm時) |
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最大搬送基板サイズ | 350 x 400 mm |
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最小搬送基板サイズ | 80 x 60 mm |
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最大可搬重量 | 0.5 kg *1 |
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プローブ回転角 | シングルエンドプローブ:360° |
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繰返し精度X–Y | ±4 µm |
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繰返し精度 θ | 1° |
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インピーダンス精度 *2 | シングルエンド測定:50 Ω±1% |
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エアー仕様:圧力 | 0.5 MPa |
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エアー仕様:容量 | 3.5 ℓ/min. |
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電源 三相AC200–240 V 50/60 Hz |
20 A |
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重量 | 900 kg *3 |
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外形図(mm) | ||
必要システム | 制御用PC&モニター *4 |
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動作環境 | 21–24℃、30–70%(相対湿度) * 結露、塵、埃、振動のないこと ※腐食性のガスがある環境では使用しないでください 大気圧露点:−14℃以下(0.7 MPa時、圧力下露点15℃以下) オイルミスト濃度:1 mg/㎥ (ANR) 以下 |
対応測定器 *5
テクトロニクス | DSA8300 |
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キーサイト・テクノロジー | E5063A+オプションTDR |
ローデ・シュワルツ | ZNA26 |
テレダイン・レクロイ | WaveExpert100H+ST-20 |
マイクロクラフト | MZ30 |
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