- TDR/VNA測定装置
独自のプローブ回転機構により、
様々な向きに配置された検査点にも自動でコンタクト。
F1T6060 / F2T6060
自動片面TDR測定システム
F1T6060（1プローブ）
F2T6060（2プローブ）
シングルエンドと差動インピーダンス測定が可能。独自の回転ヘッドとイオナイザーを標準装備。
プローブトップチェンジャー オプション
従来、シングルエンドプローブ先端に装着するプローブトップは、測定するパターンピッチに応じてプローブトップを交換する必要がありました。しかし、プローブトップチェンジャーはプローブユニットが交換位置まで移動し、自動でプローブトップの脱着を行います。チェンジャーには5種類までセットが可能で、複数のパターンピッチが存在する基板の測定では交換する手間が省け、測定効率の向上が見込まれます。
スペック
| F1T6060（1プローブ） | F2T6060（2プローブ） | |
|---|---|---|
| 最大検査エリア | 610 x 610 mm |
470 x 510 mm |
| 最大基板サイズ | 620 x 620 mm |
520 x 520 mm |
| 最小基板サイズ | 40 x 40 mm |
40 x 40 mm *1 |
| 最大基板厚 | 10 mm |
10 mm |
| クランプ方式 | 手動クランプまたはバキュームクランプ（オプション） *2 |
手動クランプまたはバキュームクランプ（オプション） *2 |
| プローブ回転角 | シングルエンドプローブ：360° |
シングルエンドプローブ：360° |
| 繰返し精度X–Y | ±10 µm |
±10 µm |
| 繰返し精度 θ | 5° |
5° |
| インピーダンス精度 *3 | シングルエンド測定：50 Ω±1% |
シングルエンド測定：50 Ω±1% |
| エアー仕様：圧力 | 0.5 MPa |
0.5 MPa |
| エアー仕様：容量 | 50 ℓ/min. |
50 ℓ/min. |
| 電源 単相AC200–240 V 50/60 Hz |
5 A |
8 A |
| 重量 | 830 kg |
850 kg |
| 外形図（mm） |
|
|
| 必要システム | 制御用PC＆モニター *4 |
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| 動作環境 | 21–24℃、30–70%（相対湿度） * 結露、塵、埃、振動のないこと ※腐食性のガスがある環境では使用しないでください 大気圧露点：−14℃以下（0.7 MPa時、圧力下露点15℃以下） オイルミスト濃度：1 mg/㎥ (ANR) 以下 |
|
対応測定器 *5
| テクトロニクス | DSA8300 |
|---|---|
| キーサイト・テクノロジー | E5063A+オプションTDR |
| ローデ・シュワルツ | ZNA26 |
| テレダイン・レクロイ | WaveExpert100H＋ST-20 |
| マイクロクラフト | MZ30 |
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