- TDR/VNA測定装置
TDRのハイエンドユーザー向けインピーダンス測定システム。
高精度メカニカルステージを組み込み、
ファインピッチ基板の測定に最適。
E1T6151 / E2T6151
ムービングプローブTDR測定装置
E1T6151（1プローブ）
E2T6151（2プローブ）
E1T6151は1本のアームを、E2T6151は2本のアームを搭載。手動でのインピーダンス測定と比較して圧倒的なスピードと繰り返し精度の高さを誇ります。C4Bumpの高周波領域でのインピーダンス測定に最適なフォームファクター社のACP40シリーズなどの超高周波プローブも取付可能です。静電気を除去するイオナイザーは標準装備です。
最大2個のプローブを搭載可能なプローブハウジングにより自由度の高い測定が可能
最大2個のプローブを搭載可能なプローブハウジング
プローブハウジングを用いることで、SIG、GNDの角度や位置の調整ができ、2本のプローブの組合せによってさまざまなSG配置にコンタクト可能です。
スペック
| E1T6151（1プローブ） | E2T6151（2プローブ） | |
|---|---|---|
| 最大検査エリア | 450 x 410 mm （バキューム吸着面） |
360 x 410 mm （バキューム吸着面） |
| クランプ方式 | バキューム方式・TDRマルチクランプ方式 |
バキューム方式・TDRマルチクランプ方式 |
| プローブ回転角 | 325°（シングルエンドプローブ） |
325°（シングルエンドプローブ） |
| 繰返し精度X–Y | ±4 µm |
±4 µm |
| 繰返し精度 θ | 1° |
1° |
| インピーダンス精度 *1 | 50 Ω±1% |
50 Ω±1% |
| エアー仕様：圧力 | 0.5 MPa |
0.5 MPa |
| エアー仕様：容量 | 3.5 ℓ/min. |
3.5 ℓ/min. |
| 電源 単相AC200–240 V 50/60 Hz |
6 A |
8 A |
| 重量 | 1100 kg |
1150 kg |
| 外形図（mm） |
|
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| 必要システム | 制御用PC＆モニター *2 |
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| 動作環境 | 21–24℃、30–70%（相対湿度） * 結露、塵、埃、振動のないこと ※腐食性のガスがある環境では使用しないでください 大気圧露点：−14℃以下（0.7 MPa時、圧力下露点15℃以下） オイルミスト濃度：1 mg/㎥ (ANR) 以下 |
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対応測定器 *3
| テクトロニクス | DSA8300 |
|---|---|
| キーサイト・テクノロジー | E5063A+オプションTDR |
| ローデ・シュワルツ | ZNA26 |
| テレダイン・レクロイ | WaveExpert100H＋ST-20 |
| マイクロクラフト | MZ30 |
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