- プリント基板検査装置
Type9プローブを装備し、超高精度検査を実現。
Sシリーズ（4プローブシステム）
超高精度タイプ
E4S6151G / E4S3325G NEW
Type9プローブを装備することにより、超高精度な検査を可能にしました。E4S6151Gは、標準的な大きさの基板に対応しており、最小パッドサイズ15 µm、最小パッドピッチ45 µmです。E4S3325Gは、一般的なCSPやフリップチップなどのパッケージ基板をターゲットにしており、最小パッドサイズ10 µm、最小パッドピッチ40 µmです。
スペック
| E4S6151G | E4S3325G | |
|---|---|---|
| 最大検査エリア | 610 x 510 mm |
330 x 250 mm |
| 検査プローブ数 | 前面2本、後面2本 |
前面2本、後面2本 |
| 最小基板サイズ | 60 x 65 mm |
40 x 35 mm |
| 最大基板厚 | 9 mm |
9 mm |
| 検査不可領域 | クランプエリア端より1 mm *1 |
クランプエリア端より1 mm *1 |
| 繰り返し精度 *2 | ±2 µm |
±1 µm |
| 位置決め分解能 | 1 µm |
1 µm |
| 最小パッドピッチ | 45 µm *3 |
40 µm *3 |
| 最小パッドサイズ | 15 µm *4 |
10 µm *4 |
| 検査電圧 | 導通検査時：0–10 V |
導通検査時：0–10 V |
| 検査電流 | 導通検査時：2.5 µA–150 mA |
導通検査時：2.5 µA–150 mA |
| クランプ方式 | 自動クランプ |
自動クランプ |
| アライメントカメラ | 前面2台、後面2台 |
前面2台、後面2台 |
| プリンター | 外付 |
外付 |
| エアー仕様：圧力 | 0.5 MPa |
0.5 MPa |
| エアー仕様：容量 | 3.5 ℓ/min. |
3.5 ℓ/min. |
| 電源 *6 単相AC200–240 V 50/60 Hz |
10 A |
10 A |
| 重量 | 1150 kg |
1200 kg |
| 外形図（mm） |
|
|
| 必要システム | 1）制御用PC & モニター 2）検査点自動作成ソフト編集用PC & モニター * 上記 1), 2)は１台のPC及びモニターを併用できます。* PCの仕様については営業に確認してください。 |
|
| ソフトウェア | 操作用のEMMA2020は標準装備、その他はオプション。（対応OSは、Windows 10 / Windows 11） | |
| プローブタイプ | プローブは用途に応じて各種用意しています。モデルによって取付可能タイプが異なります。各スペックの詳細については営業にご確認下さい。 | |
| 動作環境 | 21–24℃、30–70%（相対湿度） * 結露、塵、埃、振動のないこと ※腐食性のガスがある環境では使用しないでください 大気圧露点：−14℃以下（0.7 MPa時、圧力下露点15℃以下） オイルミスト濃度：1 mg/㎥ (ANR) 以下 |
|
Sシリーズ（8プローブシステム）
超高精度タイプ
E8S6151G NEW
Type9プローブを装備することにより低打痕検査を実現したモデルです。8プローブシステムの特長である高速検査はもとより、精度も位置決め分解能2 µm、繰り返し精度±4 µmという高い水準をキープしています。
スペック
| E8S6151G | |
|---|---|
| 最大検査エリア | 610 x 510 mm |
| 検査プローブ数 | 前面4本、後面4本 |
| 最小基板サイズ | 60 x 75 mm |
| 最大基板厚 | 9 mm |
| 検査不可領域 | クランプエリア端より3 mm *1 |
| 繰り返し精度 *2 | ±4 µm |
| 位置決め分解能 | 2 µm |
| 最小パッドピッチ | 100 µm *3 |
| 最小パッドサイズ | 50 µm *4 |
| 検査電圧 | 導通検査時：0–10 V 絶縁検査時：250 V *5 |
| 検査電流 | 導通検査時：2.5 µA–150 mA |
| クランプ方式 | 自動クランプ |
| アライメントカメラ | 前面4台、後面4台 |
| プリンター | 外付 |
| エアー仕様：圧力 | 0.5 MPa |
| エアー仕様：容量 | 3.5 ℓ/min. |
| 電源 *6 単相AC200–240 V 50/60 Hz |
20 A |
| 重量 | 2000 kg |
| 外形図（mm） |  |
| 必要システム | 1）制御用PC & モニター 2）検査点自動作成ソフト編集用PC & モニター * 上記 1), 2)は１台のPC及びモニターを併用できます。* PCの仕様については営業に確認してください。 |
| ソフトウェア | 操作用のEMMA2020は標準装備、その他はオプション。（対応OSは、Windows 10 / Windows 11） |
| プローブタイプ | プローブは用途に応じて各種用意しています。モデルによって取付可能タイプが異なります。各スペックの詳細については営業にご確認下さい。 |
| 動作環境 | 21–24℃、30–70%（相対湿度） * 結露、塵、埃、振動のないこと ※腐食性のガスがある環境では使用しないでください 大気圧露点：−14℃以下（0.7 MPa時、圧力下露点15℃以下） オイルミスト濃度：1 mg/㎥ (ANR) 以下 |
Sシリーズ（2プローブシステム）
超高精度タイプ
F2S6151G / F2S3325G NEW
Type9プローブを装備することにより、超高精度な検査を可能にしました。F2S6151Gは、標準的な大きさの高密度基板に対応しており、最小パッドサイズ15 µm、最小パッドピッチ45 µmです。F2S3325Gは、一般的なCSPやフリップチップなどのパッケージ基板をターゲットにしており、最小パッドサイズ10 µm、最小パッドピッチ40 µmです。
※仕様により扉の形状が製品写真と異なる場合があります
スペック
| F2S6151G | F2S3325G | |
|---|---|---|
| 最大検査エリア | 610 x 510 mm |
330 x 250 mm |
| 検査プローブ数 | 上面2本 |
上面2本 |
| 最小基板サイズ | 50 x 50 mm |
50 x 50 mm |
| 最大基板厚 | 4 mm |
4 mm |
| 検査不可領域 | — |
— |
| 繰り返し精度 *1 | ±2 µm |
±1 µm |
| 位置決め分解能 | 1 µm |
1 µm |
| 最小パッドピッチ | 45 µm *2 |
40 µm *2 |
| 最小パッドサイズ | 15 µm *3 |
10 µm *3 |
| 検査電圧 | 導通検査時：0–10 V |
導通検査時：0–10 V |
| 検査電流 | 導通検査時：2.5 µA–150 mA |
導通検査時：2.5 µA–150 mA |
| クランプ方式 | バキューム方式 |
バキューム方式 |
| アライメントカメラ | 上面2台 |
上面2台 |
| プリンター | 外付 |
外付 |
| エアー仕様：圧力 | 0.5 MPa |
不要 |
| エアー仕様：容量 | 0.6 ℓ/min |
不要 |
| 電源 *5 単相AC200–240 V 50/60 Hz |
8 A |
8 A |
| 重量 | 720 kg |
700 kg |
| 外形図（mm） |
|
|
| 必要システム | 1）制御用PC & モニター 2）検査点自動作成ソフト編集用PC & モニター * 上記 1), 2)は１台のPC及びモニターを併用できます。* PCの仕様については営業に確認してください。 |
|
| ソフトウェア | 操作用のEMMA2020は標準装備、その他はオプション。（対応OSは、Windows 10 / Windows 11） | |
| プローブタイプ | プローブは用途に応じて各種用意しています。モデルによって取付可能タイプが異なります。各スペックの詳細については営業にご確認下さい。 | |
| 動作環境 | 21–24℃、30–70%（相対湿度） * 結露、塵、埃、振動のないこと ※腐食性のガスがある環境では使用しないでください 大気圧露点：−14℃以下（0.7 MPa時、圧力下露点15℃以下） オイルミスト濃度：1 mg/㎥ (ANR) 以下 |
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