- プリント基板検査装置
EMMAの中核を担うMシリーズ。
テストフロアの多様化と高速化に豊富なラインアップで対応。
Mシリーズ（4プローブシステム）
標準タイプ
E4M6151G NEW
高密度基板から大型基板、フレキシブルボードまであらゆる基板の検査に対応。毎分6,500ポイントの高速検査が可能なEMMAシリーズのスタンダードモデル。
大型タイプ
E4M8161G NEW
バーンインボードやバックプレーンなど、大型多層基板に対応したタイプです。大型基板対応ながら、位置決め精度が非常に優れており、しかも高速検査が可能です。
超大型タイプ
E4M15281G NEW
主にバックボード、バックプレーンまたはバーンインボードと呼ばれる大型基板の検査をするために開発されたマシンです。最大の特徴は、水平軸の駆動をデュアルサーボドライブにしている点です。このドライブ方式により、長尺のプリント基板も無理なく高速に検査できます。
スペック
| E4M6151G | E4M8161G | E4M15281G | |
|---|---|---|---|
| 最大検査エリア | 610 x 510 mm |
810 x 610 mm *1 |
1520 x 810 mm |
| 検査プローブ数 | 前面2本、後面2本 |
前面2本、後面2本 |
前面2本、後面2本 |
| 最小基板サイズ | 60 x 65 mm |
60 x 65 mm |
60 x 65 mm |
| 最大基板厚 | 9 mm |
9 mm |
15 mm |
| 検査不可領域 | クランプエリア端より1 mm *2 |
クランプエリア端より1 mm *2 |
クランプエリア端より1 mm *2 |
| 繰り返し精度 *3 | ±4 µm |
±4 µm |
±4 µm |
| 位置決め分解能 | 2 µm |
2 µm |
6 µm |
| 最小パッドピッチ | 100 µm *4 |
120 µm *4 |
180 µm *4 |
| 最小パッドサイズ | 30 µm *5 |
30 µm *5 |
80 µm *5 |
| 検査電圧 | 導通検査時：0–10 V |
導通検査時：0–10 V |
導通検査時：0–10 V |
| 検査電流 | 導通検査時：2.5 µA–150 mA |
導通検査時：2.5 µA–150 mA |
導通検査時：2.5 µA–150 mA |
| クランプ方式 | 自動クランプ *7 |
自動クランプ *7 |
自動クランプ |
| アライメントカメラ | 前面2台、後面2台 |
前面2台、後面2台 |
前面2台、後面2台 |
| プリンター | 外付 |
外付 |
外付 |
| エアー仕様：圧力 | 0.5 MPa |
0.5 MPa |
0.5 MPa |
| エアー仕様：容量 | 3.5 ℓ/min. |
3.5 ℓ/min. |
7.0 ℓ/min. |
| 電源 *8 単相AC200–240 V 50/60 Hz |
10 A |
15 A |
20 A |
| 重量 | 1100 kg |
1420 kg |
1850 kg |
| 外形図（mm） |
|
|
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| 必要システム | 1）制御用PC & モニター 2）検査点自動作成ソフト編集用PC & モニター * 上記 1), 2)は１台のPC及びモニターを併用できます。* PCの仕様については営業に確認してください。 |
||
| ソフトウェア | 操作用のEMMA2020は標準装備、その他はオプション。（対応OSは、Windows 10 / Windows 11） | ||
| プローブタイプ | プローブは用途に応じて各種用意しています。モデルによって取付可能タイプが異なります。各スペックの詳細については営業にご確認下さい。 | ||
| 動作環境 | 21–24℃、30–70%（相対湿度） * 結露、塵、埃、振動のないこと ※腐食性のガスがある環境では使用しないでください 大気圧露点：−14℃以下（0.7 MPa時、圧力下露点15℃以下） オイルミスト濃度：1 mg/㎥ (ANR) 以下 |
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Mシリーズ（8プローブシステム）
標準タイプ
E8M6151G NEW
基板の両面に各4本のプローブを配置。自在に高速移動し、驚異的な検査スピードを実現します。各プローブの動作効率を極限まで上げ、洗練されたソフトウェアと相まって検査スピードの大幅アップを可能にしました。その速度は毎分10,000ポイント以上。これだけの検査スピードを達成しながら、位置決め分解能2 µm、繰り返し精度±4 µmという高い水準をキープしています。
大型タイプ
E8M8161G NEW
最大検査エリア810 x 610 mmの大型タイプ。大型基板対応ながら超高速検査を行うことが可能です。
スペック
| E8M6151G | E8M8161G | |
|---|---|---|
| 最大検査エリア | 610 x 510 mm |
810 x 610 mm |
| 検査プローブ数 | 前面4本、後面4本 |
前面4本、後面4本 |
| 最小基板サイズ | 60 x 75 mm |
60 x 75 mm |
| 最大基板厚 | 9 mm |
9 mm |
| 検査不可領域 | クランプエリア端より3 mm *1 |
クランプエリア端より3 mm *1 |
| 繰り返し精度 *2 | ±4 µm |
±4 µm |
| 位置決め分解能 | 2 µm |
2 µm |
| 最小パッドピッチ | 100 µm *3 |
120 µm *3 |
| 最小パッドサイズ | 50 µm *4 |
50 µm *4 |
| 検査電圧 | 導通検査時：0–10 V |
導通検査時：0–10 V |
| 検査電流 | 導通検査時：2.5 µA–150 mA |
導通検査時：2.5 µA–150 mA |
| クランプ方式 | 自動クランプ |
自動クランプ |
| アライメントカメラ | 前面4台、後面4台 |
前面4台、後面4台 |
| プリンター | 外付 |
外付 |
| エアー仕様：圧力 | 0.5 MPa |
0.5 MPa |
| エアー仕様：容量 | 3.5 ℓ/min. |
3.5 ℓ/min. |
| 電源 *6 単相AC200–240 V 50/60 Hz |
20 A |
20 A |
| 重量 | 2000 kg |
2200 kg |
| 外形図（mm） |
|
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| 必要システム | 1）制御用PC & モニター 2）検査点自動作成ソフト編集用PC & モニター * 上記 1), 2)は１台のPC及びモニターを併用できます。* PCの仕様については営業に確認してください。 |
|
| ソフトウェア | 操作用のEMMA2020は標準装備、その他はオプション。（対応OSは、Windows 10 / Windows 11） | |
| プローブタイプ | プローブは用途に応じて各種用意しています。モデルによって取付可能タイプが異なります。各スペックの詳細については営業にご確認下さい。 | |
| 動作環境 | 21–24℃、30–70%（相対湿度） * 結露、塵、埃、振動のないこと ※腐食性のガスがある環境では使用しないでください 大気圧露点：−14℃以下（0.7 MPa時、圧力下露点15℃以下） オイルミスト濃度：1 mg/㎥ (ANR) 以下 |
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Mシリーズ（2プローブシステム）
シャトルテーブルタイプ
F2M9172G-SH
大型タイプにシャトルテーブルを接続し、スループットが大きく向上したシャトルテーブルタイプ。F2M9172G-SHはシングルシャトル仕様（シャトル x 1）です。
シャトルテーブルタイプ
F2M9172G-SH2
デュアルシャトル仕様（シャトル x 2）です。
一方のシャトルが検査中にもう一方のシャトルに基板をセット
検査の完了したシャトルは元の位置に戻り、もう一方のシャトルが移動して検査が始まります。その間に待機中のシャトルで基板の段取り替えを行います。
スペック
| F2M9172G-SH | F2M9172G-SH2 | |
|---|---|---|
| 最大検査エリア | 910 x 720 mm |
910 x 720 mm |
| 検査プローブ数 | 上面2本 |
上面2本 |
| 最小基板サイズ | 50 x 50 mm |
50 x 50 mm |
| 最大基板厚 | 10 mm |
10 mm |
| 検査不可領域 | — |
— |
| 繰り返し精度 *1 | ±4 µm |
±4 µm |
| 位置決め分解能 | 2 µm |
2 µm |
| 最小パッドピッチ | 180 µm *2 |
180 µm *2 |
| 最小パッドサイズ | 60 µm *2 |
60 µm *2 |
| 検査電圧 | 導通検査時：0–10 V |
導通検査時：0–10 V |
| 検査電流 | 導通検査時：2.5 µA–150 mA |
導通検査時：2.5 µA–150 mA |
| クランプ方式 | バキューム方式 |
バキューム方式 |
| アライメントカメラ | 上面2台 |
上面2台 |
| プリンター | 外付 |
外付 |
| エアー仕様：圧力 | 0.5 MPa |
0.5 MPa |
| エアー仕様：容量 | 0.6 ℓ/min. |
0.6 ℓ/min. |
| 電源 *4 単相AC200–240 V 50/60 Hz |
15 A |
15 A |
| 重量 | 1500 kg |
2000 kg |
| 外形図（mm） |
|
|
| 必要システム | 1）制御用PC & モニター 2）検査点自動作成ソフト編集用PC & モニター * 上記 1), 2)は１台のPC及びモニターを併用できます。* PCの仕様については営業に確認してください。 |
|
| ソフトウェア | 操作用のEMMA2020は標準装備、その他はオプション。（対応OSは、Windows 10 / Windows 11） | |
| プローブタイプ | プローブは用途に応じて各種用意しています。モデルによって取付可能タイプが異なります。各スペックの詳細については営業にご確認下さい。 | |
| 動作環境 | 21–24℃、30–70%（相対湿度） * 結露、塵、埃、振動のないこと ※腐食性のガスがある環境では使用しないでください 大気圧露点：−14℃以下（0.7 MPa時、圧力下露点15℃以下） オイルミスト濃度：1 mg/㎥ (ANR) 以下 |
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