ALシリーズ / EMMA｜マイクロクラフト株式会社

プリント基板検査装置

オートローダーをビルトインし、
24時間無人運転が可能なALシリーズ。

ALシリーズ（縦型4プローブシステム）

標準タイプ / 高精度タイプ / 超高精度タイプ
E4M / E4H / E4S6151G-AL NEW
縦型タイプのオートローダー付EMMAです。オートローダー部に基板をセットすれば、吸着パッドが自動で基板を吸着し、コンベアレールまで運びます。コンベアレールにのった基板は中央の検査部へ搬送され検査が開始されます。検査終了後、基板は速やかにアンローダーに搬送され、良品基板と不良基板はそれぞれのスタッカーに振り分けられるため混入の心配がありません。
※既存のE4M / E4H / E4Sはオートローダーと接続できません

基板搬送方式：コンベア方式

●最大ストック数（異なるサイズの基板も同時にセットできます）
§ オートローダー部: 200枚（基板厚1.6mm時・最大積載80kg）
§ アンローダー部: OK基板200枚・NG基板60枚（基板厚1.6mm時・最大積載80kg）
●OK / NGスタンプ機構付オプション
●マルチイメージ基板に対応

スペック

	E4M6151G-AL	E4H6151G-AL	E4S6151G-AL
最大検査エリア	610 x 510 mm	610 x 510 mm	610 x 510 mm
最大搬送基板サイズ	620 x 520 mm	620 x 520 mm	620 x 520 mm
検査プローブ数	前面2本、後面2本	前面2本、後面2本	前面2本、後面2本
最小基板サイズ	60 x 100 mm *1	60 x 100 mm *1	60 x 100 mm *1
最小搬送基板サイズ	100 x 100 mm	100 x 100 mm	100 x 100 mm
最大基板厚	0.5–5.0 mm *2	0.5–5.0 mm *2	0.5–5.0 mm *2
最大可搬重量	3 kg *3	3 kg *3	3 kg *3
クランプエリア	3.0–10 mm	3.0–10 mm	3.0–10 mm
検査不可領域	クランプエリア端より1 mm *4	クランプエリア端より1 mm *4	クランプエリア端より1 mm *4
繰り返し精度 *5	±4 µm	±4 µm	±2 µm
位置決め分解能	2 µm	2 µm	1 µm
最小パッドピッチ	100 µm *6	50 µm *6	50 µm *7
最小パッドサイズ	30 µm *8	20 µm *8	15 µm *9
検査電圧	導通検査時：0–10 V 絶縁検査時：250 V *10	導通検査時：0–10 V 絶縁検査時：250 V *10	導通検査時：0–10 V 絶縁検査時：250 V *10
検査電流	導通検査時：2.5 µA–150 mA	導通検査時：2.5 µA–150 mA	導通検査時：2.5 µA–150 mA
クランプ方式	自動クランプ	自動クランプ	自動クランプ
アライメントカメラ	前面2台、後面2台	前面2台、後面2台	前面2台、後面2台
プリンター	外付	外付	外付
エアー仕様：圧力	0.5 MPa	0.5 MPa	0.5 MPa
エアー仕様：容量	150 ℓ/min	150 ℓ/min	150 ℓ/min
電源 *11 単相AC200–240 V 50/60 Hz	15 A	15 A	15 A
重量	1100 kg *12	1150 kg *12	1150 kg *12
外形図（mm）
必要システム	1）制御用PC & モニター 2）検査点自動作成ソフト編集用PC & モニター * 上記 1), 2)は１台のPC及びモニターを併用できます。* PCの仕様については営業に確認してください。
ソフトウェア	操作用のEMMA2020は標準装備、その他はオプション。（対応OSは、Windows 10 / Windows 11）
プローブタイプ	プローブは用途に応じて各種用意しています。モデルによって取付可能タイプが異なります。各スペックの詳細については営業にご確認下さい。
動作環境	21–24℃、30–70%（相対湿度） * 結露、塵、埃、振動のないこと ※腐食性のガスがある環境では使用しないでください大気圧露点：−14℃以下（0.7 MPa時、圧力下露点15℃以下）オイルミスト濃度：1 mg/㎥ (ANR) 以下

*1 ローダーを介さず検査部に直接基板をクランプさせることが可能なサイズです。*2 基板反りは基板厚さ含めて5mm以内。最小基板厚さは垂直に保持して反り・たわみなく自立する場合に限ります。*3 ローダーピックアップ部については吸着パッドが10ヶ所以上吸着できる場合に限ります。*4 ニードルプローブの場合。他のプローブの場合は異なります。*5 レーザー測定によるものです。*6 プローブ（T96MC-PB-0R40）使用時。*7 プローブ（T98MC-PB-0R80）使用時。*8 プローブ（T96MC-PB-0B00）使用時。*9 プローブ（T98MC-PB-0B00）使用時。*10 500 V、1000 Vはオプション。*11 電源投入時に定格電流の10倍の突入電流が流れる場合があります。設備側ブレーカはこの突入電流で誤動作しないものを選択して下さい。*12 検査部の重量です。搬送部の重量は、ローダー580 kg、アンローダー580 kgです。

ALシリーズ（水平型4プローブシステム）

高精度タイプ
F4H4033G-AL NEW
水平タイプのオートローダー付EMMAです。コンベアレールを用いたインライン方式搬送を採用しているため、様々な搬送ラインと接続することが可能です。

基板搬送方式：コンベア方式

●最大ストック数（異なるサイズの基板も同時にセットできます）
§ オートローダー部: 400枚（基板厚1.6mm時・最大積載80kg）
§ アンローダー部: OK基板400枚・NG基板400枚（基板厚1.6mm時・最大積載80kg）
●OK / NGスタンプ機構付オプション
●マルチイメージ基板に対応

スペック

	F4H4033G-AL
最大検査エリア	400 x 330 mm
最大搬送基板サイズ	420 x 340 mm
検査プローブ数	上面2本、下面2本
最小基板サイズ	50 x 50 mm *1
最小搬送基板サイズ	100 x 90 mm
最大基板厚	1.0–3.0 mm *2
最大可搬重量	1 kg *3
クランプエリア	2 mm
検査不可領域	クランプエリア端より2 mm *4
繰り返し精度 *5	±3 µm
位置決め分解能	2 µm
最小パッドピッチ	60 µm *6
最小パッドサイズ	30 µm *7
検査電圧	導通検査時：0–10 V 絶縁検査時：250 V *8
検査電流	導通検査時：2.5 µA–150 mA
クランプ方式	自動クランプ
アライメントカメラ	上面2台、下面2台
プリンター	内蔵
エアー仕様：圧力	0.5 MPa
エアー仕様：容量	300 ℓ/min.
電源 *9 単相AC200–240 V 50/60 Hz	15 A
重量	1200 kg *10
外形図（mm）
必要システム	1）制御用PC & モニター 2）検査点自動作成ソフト編集用PC & モニター * 上記 1), 2)は１台のPC及びモニターを併用できます。* PCの仕様については営業に確認してください。
ソフトウェア	操作用のEMMA2020は標準装備、その他はオプション。（対応OSは、Windows 10 / Windows 11）
プローブタイプ	プローブは用途に応じて各種用意しています。モデルによって取付可能タイプが異なります。各スペックの詳細については営業にご確認下さい。
動作環境	21–24℃、30–70%（相対湿度） * 結露、塵、埃、振動のないこと ※腐食性のガスがある環境では使用しないでください大気圧露点：−14℃以下（0.7 MPa時、圧力下露点15℃以下）オイルミスト濃度：1 mg/㎥ (ANR) 以下

*1 ローダーを介さず検査部に直接基板をクランプさせることが可能なサイズです。*2 基板反りは100mm に対して0.4mm 以下。*3 ローダーピックアップ部については吸着パッドが12ヶ所以上吸着できる場合に限ります。*4 ニードルプローブの場合。他のプローブの場合は異なります。*5 レーザー測定によるものです。*6 プローブ（T96MC-PB-0R40）使用時。*7 プローブ（T96MC-PB-0B00）使用時。*8 500 V、1000 Vはオプション。*9 電源投入時に定格電流の10倍の突入電流が流れる場合があります。設備側ブレーカはこの突入電流で誤動作しないものを選択して下さい。*10 検査部の重量です。搬送部の重量は、ローダー450 kg、アンローダー900 kgです。

ALシリーズ（縦型8プローブシステム）

標準タイプ
E8M6151G-AL / E8M6151G-AL2 NEW
8本のプローブで超高速検査を行います。新モデルのAL2は250 x 250 mm以下の基板なら2枚同時に搬送できるため、小サイズ基板の検査スループットが大きく向上しています。
※既存のE8M6151はオートローダーと接続できません

大型タイプ
E8M8161G-AL / E8M8161G-AL2 NEW
8本のプローブで超高速検査を行います。最大検査エリア810 x 610 mmに対応した大型タイプです。新モデルのAL2は250 x 250 mm以下の基板なら2枚同時に搬送できるため、小サイズ基板の検査スループットが大きく向上しています。
※既存のE8M8161はオートローダーと接続できません

基板搬送方式：コンベア方式

スペック

	E8M6151G-AL / AL2	E8M8161G-AL / AL2
最大検査エリア	610 x 510 mm	810 x 610 mm
最大搬送基板サイズ	AL: 620 x 520 mm AL2: 610 x 510 mm *1	AL: 620 x 520 mm AL2: 610 x 510 mm *1
検査プローブ数	前面4本、後面4本	前面4本、後面4本
最小基板サイズ	100 x 100 mm *2	100 x 100 mm *2
最小搬送基板サイズ	100 x 100 mm	100 x 100 mm
最大基板厚	0.5–5.0 mm *3	0.5–5.0 mm *3
最大可搬重量	3 kg *4	3 kg *4
クランプエリア	3.0–10 mm	3.0–10 mm
検査不可領域	クランプエリア端より3 mm *5	クランプエリア端より3 mm *5
繰り返し精度 *6	±4 µm	±4 µm
位置決め分解能	2 µm	2 µm
最小パッドピッチ	100 µm *7	120 µm *7
最小パッドサイズ	50 µm *8	50 µm *8
検査電圧	導通検査時：0–10 V 絶縁検査時：250 V *9	導通検査時：0–10 V 絶縁検査時：250 V *9
検査電流	導通検査時：2.5 µA–150 mA	導通検査時：2.5 µA–150 mA
クランプ方式	自動クランプ	自動クランプ
アライメントカメラ	前面4台、後面4台	前面4台、後面4台
プリンター	外付	外付
エアー仕様：圧力	0.5 MPa	0.5 MPa
エアー仕様：容量	150 ℓ/min.	150 ℓ/min.
電源 *10 単相AC200–240 V 50/60 Hz	20 A	20 A
重量	2100 kg *11	2200 kg *11
外形図（mm）
必要システム	1）制御用PC & モニター 2）検査点自動作成ソフト編集用PC & モニター * 上記 1), 2)は１台のPC及びモニターを併用できます。* PCの仕様については営業に確認してください。
ソフトウェア	操作用のEMMA2020は標準装備、その他はオプション。（対応OSは、Windows 10 / Windows 11）
プローブタイプ	プローブは用途に応じて各種用意しています。モデルによって取付可能タイプが異なります。各スペックの詳細については営業にご確認下さい。
動作環境	21–24℃、30–70%（相対湿度） * 結露、塵、埃、振動のないこと ※腐食性のガスがある環境では使用しないでください大気圧露点：−14℃以下（0.7 MPa時、圧力下露点15℃以下）オイルミスト濃度：1 mg/㎥ (ANR) 以下

*1 1枚搬送時のサイズです。2枚搬送時は、250 x 250 mmになります。*2 ローダーを介さず検査部に直接基板をクランプさせることが可能なサイズです。*3 基板反りは基板厚さ含めて5mm以内。最小基板厚さは垂直に保持して反り・たわみなく自立する場合に限ります。*4 ローダーピックアップ部については吸着パッドが10ヶ所以上吸着できる場合に限ります。*5 ニードルプローブの場合。他のプローブの場合は異なります。*6 レーザー測定によるものです。*7 プローブ（TIPRB-PB-N110、TIPRB-PB-N111）使用時。*8 プローブ（TIPRB-PB-B210、TIPRB-PB-B211）使用時。*9 500 V、1000 Vはオプション。*10 電源投入時に定格電流の10倍の突入電流が流れる場合があります。設備側ブレーカはこの突入電流で誤動作しないものを選択して下さい。*11 検査部の重量です。搬送部の重量は、ローダー580 kg、アンローダー580 kgです。

ALシリーズ独自の機能

自動品種切替機能
ALシリーズはバーコードによる「自動品種切替機能」が搭載可能です。これは、多品種基板の検査の手間とトラブル発生率をより少なくする便利な機能です。バーコード付きプレートを基板A群と基板B群の間に入れてローダーにセットします。基板の枚数をソフトウェアに入力する必要はありません。ローダーにはバーコードリーダーが搭載されていて、バーコード付きプレートが最前に来るとバーコードを読み取り（左図）、検査機は次から基板Bが搬送されると認識します。基板Bが搬送されると基板Bに応じた検査が行われます。入力ミスのリスクをなくし、確実に全数検査が遂行できます。オプションで、バーコードにリンクしたデータを自動的に読み込むことも可能です。
※バーコード付きプレートは検査されず、アンローダーのNG基板に振り分けられます。

ロット単位での再検査機能
同一ロットで発生した各不良を集計し、再検査時は同一ロットで発生した不良個所全ての検査を行います。これにより、それぞれの基板と紐付いた検査結果を読み取ることなくスムーズな再検査が可能になります。

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