- TDR/VNA 측정 장치
독자적인 프로브 회전 기구에 의해
다양한 방향으로 배치된 검사점에도 자동으로 접촉.
F1T6060 / F2T6060
자동 단면 TDR 측정 시스템
F1T6060 (1 프로브)
F2T6060 (2 프로브)
싱글엔드와 디퍼렌셜 측정 가능. 독자적인 회전 헤드와 이오나이저는 표준 입니다.
프로브 캡 체인저 옵션
기존에는 싱글엔드 프로브 선단에 장착된 프로브 캡을 작업자가 측정하는 패턴 피치에 따라 교체해야 했습니다. 그러나 프로브 캡 체인저를 사용하면 프로브 유닛이 교체 위치로 이동하여 자동으로 프로브 캡의 탈/부착을 합니다. 최대 5가지 유형의 프로브 캡 셋팅이 가능하고 복수의 패턴 피치가 있는 기판을 측정할 때 교체하는 번거로움을 줄일 수 있어 측정 효율성이 향상 됩니다.
상세 사양
| F1T6060 (1 프로브) | F2T6060 (2 프로브) | |
|---|---|---|
| 최대검사에리어 | 610 x 610 mm |
470 x 510 mm |
| 최대기판사이즈 | 620 x 620 mm |
520 x 520 mm |
| 최소기판사이즈 | 40 x 40 mm |
40 x 40 mm *1 |
| 최대기판두께 | 10 mm |
10 mm |
| 클램프 방식 | 수동클램프 또는 Vacuum방식 (옵션) *2 |
수동클램프 또는 Vacuum방식 (옵션) *2 |
| 프로브회전각 | 싱글 엔드 프로브: 360° |
싱글 엔드 프로브: 360° |
| 반복정밀도 X–Y | ±10 µm |
±10 µm |
| 반복정밀도 θ | 5° |
5° |
| 임피던스 정밀도 *3 | 싱글엔드 측정: 50 Ω±1% |
싱글엔드 측정: 50 Ω±1% |
| 에어사양 (압력) | 0.5 MPa |
0.5 MPa |
| 에어사양 (용량) | 50 ℓ/min. |
50 ℓ/min. |
| 전원 단상AC200–240 V 50/60 Hz |
5 A |
8 A |
| 중량 | 830 kg |
850 kg |
| 외부사이즈 (mm) |
|
|
| 필요시스템 | 제어용PC & 모니터 *4 |
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| 동작환경 | 21–24℃、30–70% (상대습도) * 결로, 티끌, 먼지, 진동, 부식성 가스가 없을 것. 대기압 이슬점: −14℃이하 (0.7 MPa시, 압력이하 이슬점15℃이하) 오일 미스트 농도: 1 mg/㎥ (ANR) 이하 |
|
대응 측정기 *5
| Tektronix | DSA8300 |
|---|---|
| Keysight Technologies | E5063A+옵션TDR |
| Rohde & Schwarz | ZNA26 |
| Teledyne LeCroy | WaveExpert100H＋ST-20 |
| MicroCraft | MZ30 |
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