- TDR/VNA 측정 장치
고급 사용자를 위한 TDR 임피던스 측정 시스템.
고정밀 기계 스테이지를 내장하여 파인 피치 기판 측정에 최적.
E1T6151 / E2T6151
무빙 프로브 TDR 측정장치
E1T6151 (1 프로브)
E2T6151 (2 프로브)
E1T6151은 1개의 암(Arm)을, E2T6151은 2개의 암(Arm)을 장착. 수동 임피던스 측정과 비교하여 압도적인 속도와 높은 반복 정밀도를 자랑합니다. 폼팩터社 ACP40 시리즈와 같은 고주파 프로브를 장착하여 C4 Bump의 고주파 영역에서의 임피던스 측정이 가능합니다. 정전기를 제거하는 이오나이저는 표준으로 제공 됩니다.
최대 2개의 프로브가 탑재 가능한 프로브 하우징으로 매우 유연한 측정이 가능
최대 2개의 프로브가 탑재 가능한 프로브 하우징
프로브 하우징을 이용하여 SIG, GND의 각도나 위치 조정이 가능하며, 2개의 프로브 조합으로 인해 다양한 SG 배치에 컨택이 가능합니다.
상세 사양
| E1T6151 (1 프로브) | E2T6151 (2 프로브) | |
|---|---|---|
| 최대검사에리어 | 450 x 410 mm |
360 x 410 mm |
| 클램프 방식 | 버큠 방식·TDR 멀티 클램프 방식 |
버큠 방식·TDR 멀티 클램프 방식 |
| 프로브회전각 | 325° (싱글 엔드 프로브) |
325° (싱글 엔드 프로브) |
| 반복정밀도 X–Y | ±4 µm |
±4 µm |
| 반복정밀도 θ | 1° |
1° |
| 임피던스 정밀도 *1 | 50 Ω±1% |
50 Ω±1% |
| 에어사양 (압력) | 0.5 MPa |
0.5 MPa |
| 에어사양 (용량) | 3.5 ℓ/min. |
3.5 ℓ/min. |
| 전원 단상AC200–240 V 50/60 Hz |
6 A |
8 A |
| 중량 | 1100 kg |
1150 kg |
| 외부사이즈 (mm) |
|
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| 필요시스템 | 제어용PC & 모니터 *2 |
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| 동작환경 | 21–24℃、30–70% (상대습도) * 결로, 티끌, 먼지, 진동, 부식성 가스가 없을 것. 대기압 이슬점: −14℃이하 (0.7 MPa시, 압력이하 이슬점15℃이하) 오일 미스트 농도: 1 mg/㎥ (ANR) 이하 |
|
대응 측정기 *3
| Tektronix | DSA8300 |
|---|---|
| Keysight Technologies | E5063A+옵션TDR |
| Rohde & Schwarz | ZNA26 |
| Teledyne LeCroy | WaveExpert100H＋ST-20 |
| MicroCraft | MZ30 |
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