- TDR/VNA 측정 장치
5G 애플리케이션에 사용하는 디바이스 및 기판 특성 평가가 가능.
차세대 요구 사항을 충족하는 고주파 특성 측정 시스템.
E2V6151 / E3V6151 / E4V6151
VNA측정 장치
E2V6151 (2 프로브)
E3V6151 (3 프로브)
E4V6151 (4 프로브)
VNA(Vector Network Analyzer) 탑재 가능. 자동으로 고주파 특성을 측정하는 시스템 입니다. S파라미터의 측정 등을 수행할 수 있으며, 5G용 어플리케이션에 사용하는 디바이스 및 기판의 특성 평가도 가능 합니다. 데이터 센터용 고속 전송 프린트 기판의 전송 손실 측정이나, 백드릴의 불량 검출 등 다양한 용도에 대응 가능합니다. 프로브가 180°회전하고 프로브끼리 접근이 가능하며 얼라인먼트 카메라로 프로브 위치를 직접 볼 수 있어 각종 VNA 측정기 및 TDR 측정기와 접속이 가능합니다. 또한, 4 프로브 사양에서는 기판의 양면의 측정이 가능합니다.
트레이스의 양 끝에 프로브가 컨택하여 S파라미터 등의 측정이 가능합니다.
폼팩터社 ACP 시리즈 등의 프로브를 각 암(Arm)에 1개 장착하여 트레이스의 끝점에 컨택할 수 있습니다.
고주파 프로브 유닛
180°회전 기구
프로브간의 접근을 가능하게 한 회전 기구를 갖춘 고주파 프로브 유닛은 다양한 패드 배치에서의 검사를 가능하게 합니다. 고주파 프로브는 폼 팩터사(구 캐스케이드 마이크로텍社)의 ACP 시리즈를 비롯하여 다양한 고주파 프로브의 설치가 가능 합니다.
상세 사양
| E2V6151 (2 프로브) |
E3V6151 (3 프로브) |
E4V6151 (4 프로브) |
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|---|---|---|---|
| 최대검사에리어 | 570 x 460 mm |
570 x 460 mm |
570 x 460 mm |
| 클램프 방식 | 자동클램프 |
자동클램프 |
자동클램프 |
| 프로브회전각 | 180° |
180° |
180° |
| 반복정밀도 X–Y | ±4 µm |
±4 µm |
±4 µm |
| 반복정밀도 θ | 1° |
1° |
1° |
| 에어사양 (압력) | 0.5 MPa |
0.5 MPa |
0.5 MPa |
| 에어사양 (용량) | 3.5 ℓ/min. |
3.5 ℓ/min. |
3.5 ℓ/min. |
| 전원 단상AC200–240 V 50/60 Hz |
10 A |
12 A |
15 A |
| 중량 | 1500 kg |
1510 kg |
1520 kg |
| 외부사이즈 (mm) |
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| 필요시스템 | 제어용PC & 모니터 *1 |
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| 동작환경 | 21–24℃、30–70% (상대습도) * 결로, 티끌, 먼지, 진동, 부식성 가스가 없을 것. 대기압 이슬점: −14℃이하 (0.7 MPa시, 압력이하 이슬점15℃이하) 오일 미스트 농도: 1 mg/㎥ (ANR) 이하 |
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대응 측정기 *2
| Keysight Technologies | E5063A (500MHz/1.5GHz/3GHz/4.5GHz/6.5GHz/8.5GHz/14GHz/18GHz)
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|---|---|
| Rohde & Schwarz | ZNA40 (40GHz)
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| Anritsu | MS46524B (8.5GHz/20GHz/43.5GHz) |
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