- 프린트 기판 검사 장치
Type9 프로브를 사용한 초고정밀도 검사 실현.
S시리즈 (4 프로브 시스템)
초고정밀 타입
E4S6151G / E4S3325G NEW
Type9 프로브를 장착하여 초고정밀도 검사가 가능해졌습니다. E4S6151G은 표준 크기의 기판에 대응하며 최소 패드 사이즈 15 µm, 최소 패드 피치 45 µm 입니다. E4S3325G는 일반적인 CSP나 플립 칩 등의 패키지 기판에 맞추어 최소 패드 사이즈 10 µm, 최소 패드 피치 40 µm 입니다.
상세 사양
| E4S6151G | E4S3325G | |
|---|---|---|
| 최대검사에리어 | 610 x 510 mm |
330 x 250 mm |
| 검사프로브수 | 전면2개, 후면2개 |
전면2개, 후면2개 |
| 최소기판사이즈 | 60 x 65 mm |
40 x 35 mm |
| 최대기판두께 | 9 mm |
9 mm |
| 검사 불가 영역 | 클램프 영역 끝에서 1 mm *1 |
클램프 영역 끝에서 1 mm *1 |
| 반복정밀도 *2 | ±2 µm |
±1 µm |
| 위치결정분해능 | 1 µm |
1 µm |
| 최소패드피치 | 45 µm *3 |
40 µm *3 |
| 최소패드사이즈 | 15 µm *4 |
10 µm *4 |
| 검사전압 | 통전검사시: 0–10 V |
통전검사시: 0–10 V |
| 검사전류 | 통전검사시: 2.5 µA–150 mA |
통전검사시: 2.5 µA–150 mA |
| 클램프 방식 | 자동클램프 |
자동클램프 |
| 얼라인먼트 카메라 | 전면2개, 후면2개 |
전면2개, 후면2개 |
| 프린터 | 외장형 |
외장형 |
| 에어사양: 압력 | 0.5 MPa |
0.5 MPa |
| 에어사양: 용량 | 3.5 ℓ/min. |
3.5 ℓ/min. |
| 전원 *6 단상AC200–240 V 50/60 Hz |
10 A |
10 A |
| 중량 | 1150 kg |
1200 kg |
| 외부사이즈 (mm) |
|
|
| 필요 시스템 | 1）제어용 컴퓨터 & 모니터 2）검사점 자동 작성 소프트웨어 편집용 컴퓨터 & 모니터 * 1) 과 2)는 1대의 컴퓨터 및 모니터를 병용할 수 있습니다 * 컴퓨터 사양에 대해서는 영업에게 확인해 주십시오. |
|
| 소프트웨어 | 조작용 EMMA2020은 표준, 그 외는 옵션. (대응 OS: Windows 10 / Windows 11) | |
| 프로브 타입 | 프로브는 다양한 라인업으로 준비되어 있습니다. 모델 및 용도에 따라 사용하는 타입이 다르기 때문에, 자세한 내용은 영업에게 확인해 주십시오. | |
| 동작환경 | 21–24℃、30–70% (상대습도) * 결로, 티끌, 먼지 (클린룸 ISO클래스7(Federal standard 209E 클래스1만상당）이상 추천), 진동, 부식성 가스가 없을 것. 대기압 이슬점: −14℃이하 (0.7 MPa시, 압력이하 이슬점15℃이하) 오일 미스트 농도: 1 mg/㎥ (ANR) 이하 |
|
S시리즈 (8 프로브 시스템)
초고정밀 타입
E8S6151G NEW
Type 9 프로브를 장착하여 저타흔 검사를 실현한 모델입니다. 8 프로브 시스템의 특징인 고속 검사와 위치 결정 분해능 2µm, 반복 정밀도 ±4µm라는 높은 정밀도를 유지하고 있습니다.
상세 사양
| E8S6151G | |
|---|---|
| 최대검사에리어 | 610 x 510 mm |
| 검사프로브수 | 전면4개, 후면4개 |
| 최소기판사이즈 | 60 x 75 mm |
| 최대기판두께 | 9 mm |
| 검사 불가 영역 | 클램프 영역 끝에서 3 mm *1 |
| 반복정밀도 *2 | ±4 µm |
| 위치결정분해능 | 2 µm |
| 최소패드피치 | 100 µm *3 |
| 최소패드사이즈 | 50 µm *4 |
| 검사전압 | 통전검사시: 0–10 V |
| 검사전류 | 통전검사시: 2.5 µA–150 mA |
| 클램프 방식 | 자동클램프 |
| 얼라인먼트 카메라 | 전면4개, 후면4개 |
| 프린터 | 외장형 |
| 에어사양: 압력 | 0.5 MPa |
| 에어사양: 용량 | 3.5 ℓ/min. |
| 전원 *6 단상AC200–240 V 50/60 Hz |
20 A |
| 중량 | 2000 kg |
| 외부사이즈 (mm) |
|
| 필요 시스템 | 1）제어용 컴퓨터 & 모니터 2）검사점 자동 작성 소프트웨어 편집용 컴퓨터 & 모니터 * 1) 과 2)는 1대의 컴퓨터 및 모니터를 병용할 수 있습니다 * 컴퓨터 사양에 대해서는 영업에게 확인해 주십시오. |
| 소프트웨어 | 조작용 EMMA2020은 표준, 그 외는 옵션. (대응 OS: Windows 10 / Windows 11) |
| 프로브 타입 | 프로브는 다양한 라인업으로 준비되어 있습니다. 모델 및 용도에 따라 사용하는 타입이 다르기 때문에, 자세한 내용은 영업에게 확인해 주십시오. |
| 동작환경 | 21–24℃、30–70% (상대습도) * 결로, 티끌, 먼지 (클린룸 ISO클래스7(Federal standard 209E 클래스1만상당）이상 추천), 진동, 부식성 가스가 없을 것. 대기압 이슬점: −14℃이하 (0.7 MPa시, 압력이하 이슬점15℃이하) 오일 미스트 농도: 1 mg/㎥ (ANR) 이하 |
S시리즈 (2 프로브 시스템)
초고정밀 타입
F2S6151G / F2S3325G NEW
Type9 프로브를 장착하여 초고정밀도 검사가 가능해졌습니다. F2S6151G은 표준 크기의 고정밀도 기판에 대응하며 최소 패드 사이즈 15 µm, 최소 패드 피치 45 µm 입니다. F2S3325G는 일반적인 CSP나 플립 칩등의 패키지 기판을 대응하며 최소 패드 사이즈 10 µm, 최소 패드피치 40 µm 입니다.
*사양에 따라 도어의 형상이 제품사진과 다른 경우가 있습니다.
상세 사양
| F2S6151G | F2S3325G | |
|---|---|---|
| 최대검사에리어 | 610 x 510 mm |
330 x 250 mm |
| 검사프로브수 | 상면2개 |
상면2개 |
| 최소기판사이즈 | 50 x 50 mm |
50 x 50 mm |
| 최대기판두께 | 4 mm |
4 mm |
| 검사 불가 영역 | — |
— |
| 반복정밀도 *1 | ±2 µm |
±1 µm |
| 위치결정분해능 | 1 µm |
1 µm |
| 최소패드피치 | 45 µm *2 |
40 µm *2 |
| 최소패드사이즈 | 15 µm *3 |
10 µm *3 |
| 검사전압 | 통전검사시: 0–10 V |
통전검사시: 0–10 V |
| 검사전류 | 통전검사시: 2.5 µA–150 mA |
통전검사시: 2.5 µA–150 mA |
| 클램프 방식 | Vacuum방식 |
Vacuum방식 |
| 얼라인먼트 카메라 | 상면2개 |
상면2개 |
| 프린터 | 외장형 |
외장형 |
| 에어사양: 압력 | 0.5 MPa |
불필요 |
| 에어사양: 용량 | 0.6 ℓ/min |
불필요 |
| 전원 *5 단상AC200–240 V 50/60 Hz |
8 A |
8 A |
| 중량 | 720 kg |
700 kg |
| 외부사이즈 (mm) |
|
|
| 필요 시스템 | 1）제어용 컴퓨터 & 모니터 2）검사점 자동 작성 소프트웨어 편집용 컴퓨터 & 모니터 * 1) 과 2)는 1대의 컴퓨터 및 모니터를 병용할 수 있습니다 * 컴퓨터 사양에 대해서는 영업에게 확인해 주십시오. |
|
| 소프트웨어 | 조작용 EMMA2020은 표준, 그 외는 옵션. (대응 OS: Windows 10 / Windows 11) | |
| 프로브 타입 | 프로브는 다양한 라인업으로 준비되어 있습니다. 모델 및 용도에 따라 사용하는 타입이 다르기 때문에, 자세한 내용은 영업에게 확인해 주십시오. | |
| 동작환경 | 21–24℃、30–70% (상대습도) * 결로, 티끌, 먼지 (클린룸 ISO클래스7(Federal standard 209E 클래스1만상당）이상 추천), 진동, 부식성 가스가 없을 것. 대기압 이슬점: −14℃이하 (0.7 MPa시, 압력이하 이슬점15℃이하) 오일 미스트 농도: 1 mg/㎥ (ANR) 이하 |
|
- 사양이나 견적 및 자료 요청 등에 대한 문의는 전화 또는 사이트에서 문의 해주세요. 또한, 모든 라인업은 고객 요구에 맞추어 커스터마이징이 가능하오니 언제든지 문의 부탁 드립니다.
-
- 전화 문의
+82-31-452-6546 - 이메일 문의
문의 양식
- 전화 문의