- 프린트 기판 검사 장치
EMMA의 핵심을 담당하는 M 시리즈.
테스트 플로어의 다양화와 고속화에 풍부한 라인업으로 대응.
M시리즈 (4 프로브 시스템)
표준 타입
E4M6151G NEW
고정밀도 기판에서 대형 기판, 플렉시블 기판까지 모든 기판의 검사에 대응. 분당 6,500 포인트의 고속 검사가 가능한 EMMA 시리즈의 표준 모델.
대형 타입
E4M8161G NEW
버닝보드나 백플레인등 대형 다층 기판에 대응하는 타입 입니다. 대형 기판을 대응 하면서 위치 결정 정밀도가 매우 뛰어나며 고속 검사가 가능 합니다.
초대형 타입
E4M15281G NEW
주로 백보드, 백플레인 또는 버닝보드라는 대형 기판을 검사하기 위해 개발된 설비 입니다. 가장 큰 특징은 수평축 구동을 듀얼 서보 드라이브로 하고 있다는 점입니다. 이 드라이브 방식에 의해 긴 인쇄회로기판도 제한 없이 고속으로 검사할 수 있습니다.
상세 사양
| E4M6151G | E4M8161G | E4M15281G | |
|---|---|---|---|
| 최대검사에리어 | 610 x 510 mm |
810 x 610 mm *1 |
1520 x 810 mm |
| 검사프로브수 | 전면2개, 후면2개 |
전면2개, 후면2개 |
전면2개, 후면2개 |
| 최소기판사이즈 | 60 x 65 mm |
60 x 65 mm |
60 x 65 mm |
| 최대기판두께 | 9 mm |
9 mm |
15 mm |
| 검사 불가 영역 | 클램프 영역 끝에서 1 mm *2 |
클램프 영역 끝에서 1 mm *2 |
클램프 영역 끝에서 1 mm *2 |
| 반복정밀도 *3 | ±4 µm |
±4 µm |
±4 µm |
| 위치결정분해능 | 2 µm |
2 µm |
6 µm |
| 최소패드피치 | 100 µm *4 |
120 µm *4 |
180 µm *4 |
| 최소패드사이즈 | 30 µm *5 |
30 µm *5 |
80 µm *5 |
| 검사전압 | 통전검사시: 0–10 V |
통전검사시: 0–10 V |
통전검사시: 0–10 V |
| 검사전류 | 통전검사시: 2.5 µA–150 mA |
통전검사시: 2.5 µA–150 mA |
통전검사시: 2.5 µA–150 mA |
| 클램프 방식 | 자동클램프 *7 |
자동클램프 *7 |
자동클램프 |
| 얼라인먼트 카메라 | 전면2개, 후면2개 |
전면2개, 후면2개 |
전면2개, 후면2개 |
| 프린터 | 외장형 |
외장형 |
외장형 |
| 에어사양: 압력 | 0.5 MPa |
0.5 MPa |
0.5 MPa |
| 에어사양: 용량 | 3.5 ℓ/min. |
3.5 ℓ/min. |
7.0 ℓ/min. |
| 전원 *8 단상AC200–240 V 50/60 Hz |
10 A |
15 A |
20 A |
| 중량 | 1100 kg |
1420 kg |
1850 kg |
| 외부사이즈 (mm) |
|
|
|
| 필요 시스템 | 1）제어용 컴퓨터 & 모니터 2）검사점 자동 작성 소프트웨어 편집용 컴퓨터 & 모니터 * 1) 과 2)는 1대의 컴퓨터 및 모니터를 병용할 수 있습니다 * 컴퓨터 사양에 대해서는 영업에게 확인해 주십시오. |
||
| 소프트웨어 | 조작용 EMMA2020은 표준, 그 외는 옵션. (대응 OS: Windows 10 / Windows 11) | ||
| 프로브 타입 | 프로브는 다양한 라인업으로 준비되어 있습니다. 모델 및 용도에 따라 사용하는 타입이 다르기 때문에, 자세한 내용은 영업에게 확인해 주십시오. | ||
| 동작환경 | 21–24℃、30–70% (상대습도) * 결로, 티끌, 먼지 (클린룸 ISO클래스7(Federal standard 209E 클래스1만상당）이상 추천), 진동, 부식성 가스가 없을 것. 대기압 이슬점: −14℃이하 (0.7 MPa시, 압력이하 이슬점15℃이하) 오일 미스트 농도: 1 mg/㎥ (ANR) 이하 |
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M시리즈 (8 프로브 시스템)
표준 타입
E8M6151G NEW
기판 양면에 각 4개의 프로브 배치. 자유롭게 고속으로 이동하여 경이적인 검사 속도를 실현 합니다. 각 프로브의 동작 효율을 최대한 올려 정교한 소프트웨어와 함께 검사 속도의 대폭 상승을 가능하게 했습니다. 그 속도는 분당 10,000 포인트 이상이며 위치 결정 분해능 2 μm, 반복 정밀도 ±4 μm라는 높은 수준을 유지하고 있습니다.
대형 타입
E8M8161G NEW
최대 검사 에리어 810 x 610 mm인 대형 타입. 대형 기판을 대응하면서 초고속 검사가 가능합니다.
상세 사양
| E8M6151G | E8M8161G | |
|---|---|---|
| 최대검사에리어 | 610 x 510 mm |
810 x 610 mm |
| 검사프로브수 | 전면4개, 후면4개 |
전면4개, 후면4개 |
| 최소기판사이즈 | 60 x 75 mm |
60 x 75 mm |
| 최대기판두께 | 9 mm |
9 mm |
| 검사 불가 영역 | 클램프 영역 끝에서 3 mm *1 |
클램프 영역 끝에서 3 mm *1 |
| 반복정밀도 *2 | ±4 µm |
±4 µm |
| 위치결정분해능 | 2 µm |
2 µm |
| 최소패드피치 | 100 µm *3 |
120 µm *3 |
| 최소패드사이즈 | 50 µm *4 |
50 µm *4 |
| 검사전압 | 통전검사시: 0–10 V |
통전검사시: 0–10 V |
| 검사전류 | 통전검사시: 2.5 µA–150 mA |
통전검사시: 2.5 µA–150 mA |
| 클램프 방식 | 자동클램프 |
자동클램프 |
| 얼라인먼트 카메라 | 전면4개, 후면4개 |
전면4개, 후면4개 |
| 프린터 | 외장형 |
외장형 |
| 에어사양: 압력 | 0.5 MPa |
0.5 MPa |
| 에어사양: 용량 | 3.5 ℓ/min. |
3.5 ℓ/min. |
| 전원 *6 단상AC200–240 V 50/60 Hz |
20 A |
20 A |
| 중량 | 2000 kg |
2200 kg |
| 외부사이즈 (mm) |
|
|
| 필요 시스템 | 1）제어용 컴퓨터 & 모니터 2）검사점 자동 작성 소프트웨어 편집용 컴퓨터 & 모니터 * 1) 과 2)는 1대의 컴퓨터 및 모니터를 병용할 수 있습니다 * 컴퓨터 사양에 대해서는 영업에게 확인해 주십시오. |
|
| 소프트웨어 | 조작용 EMMA2020은 표준, 그 외는 옵션. (대응 OS: Windows 10 / Windows 11) | |
| 프로브 타입 | 프로브는 다양한 라인업으로 준비되어 있습니다. 모델 및 용도에 따라 사용하는 타입이 다르기 때문에, 자세한 내용은 영업에게 확인해 주십시오. | |
| 동작환경 | 21–24℃、30–70% (상대습도) * 결로, 티끌, 먼지 (클린룸 ISO클래스7(Federal standard 209E 클래스1만상당）이상 추천), 진동, 부식성 가스가 없을 것. 대기압 이슬점: −14℃이하 (0.7 MPa시, 압력이하 이슬점15℃이하) 오일 미스트 농도: 1 mg/㎥ (ANR) 이하 |
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M시리즈 (2 프로브 시스템)
셔틀테이블 타입
F2M9172G-SH
대형타입에 셔틀테이블을 접속하여 검사처리량이 크게 향상된 셔틀 테이블 타입. SH는 싱글셔틀 사양 (셔틀 x 1) 입니다.
셔틀테이블 타입
F2M9172G-SH2
듀얼 셔틀 사양 (셔틀 x 2 ) 입니다.
한 쪽 셔틀이 검사 중 다른 쪽 셔틀에 기판을 세팅.
검사가 완료된 셔틀은 원래 위치로 돌아가고 다른 셔틀이 이동하여 검사가 시작 됩니다. 그 사이에 대기중인 셔틀에서 기판을 교체 합니다.
상세 사양
| F2M9172G-SH | F2M9172G-SH2 | |
|---|---|---|
| 최대검사에리어 | 910 x 720 mm |
910 x 720 mm |
| 검사프로브수 | 상면2개 |
상면2개 |
| 최소기판사이즈 | 50 x 50 mm |
50 x 50 mm |
| 최대기판두께 | 10 mm |
10 mm |
| 검사 불가 영역 | — |
— |
| 반복정밀도 *1 | ±4 µm |
±4 µm |
| 위치결정분해능 | 2 µm |
2 µm |
| 최소패드피치 | 180 µm *2 |
180 µm *2 |
| 최소패드사이즈 | 60 µm *2 |
60 µm *2 |
| 검사전압 | 통전검사시: 0–10 V |
통전검사시: 0–10 V |
| 검사전류 | 통전검사시: 2.5 µA–150 mA |
통전검사시: 2.5 µA–150 mA |
| 클램프 방식 | Vacuum방식 |
Vacuum방식 |
| 얼라인먼트 카메라 | 상면2개 |
상면2개 |
| 프린터 | 외장형 |
외장형 |
| 에어사양: 압력 | 0.5 MPa |
0.5 MPa |
| 에어사양: 용량 | 0.6 ℓ/min. |
0.6 ℓ/min. |
| 전원 *4 단상AC200–240 V 50/60 Hz |
15 A |
15 A |
| 중량 | 1500 kg |
2000 kg |
| 외부사이즈 (mm) |
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|
| 필요 시스템 | 1）제어용 컴퓨터 & 모니터 2）검사점 자동 작성 소프트웨어 편집용 컴퓨터 & 모니터 * 1) 과 2)는 1대의 컴퓨터 및 모니터를 병용할 수 있습니다 * 컴퓨터 사양에 대해서는 영업에게 확인해 주십시오. |
|
| 소프트웨어 | 조작용 EMMA2020은 표준, 그 외는 옵션. (대응 OS: Windows 10 / Windows 11) | |
| 프로브 타입 | 프로브는 다양한 라인업으로 준비되어 있습니다. 모델 및 용도에 따라 사용하는 타입이 다르기 때문에, 자세한 내용은 영업에게 확인해 주십시오. | |
| 동작환경 | 21–24℃、30–70% (상대습도) * 결로, 티끌, 먼지 (클린룸 ISO클래스7(Federal standard 209E 클래스1만상당）이상 추천), 진동, 부식성 가스가 없을 것. 대기압 이슬점: −14℃이하 (0.7 MPa시, 압력이하 이슬점15℃이하) 오일 미스트 농도: 1 mg/㎥ (ANR) 이하 |
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- 사양이나 견적 및 자료 요청 등에 대한 문의는 전화 또는 사이트에서 문의 해주세요. 또한, 모든 라인업은 고객 요구에 맞추어 커스터마이징이 가능하오니 언제든지 문의 부탁 드립니다.
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