멀티프레임을 사용하는 것으로 복수의 소형 기판을 검사할 경우 탈부착 시간을 대폭적으로 단축할 수 있으며, 동시에 ２장 이상의 기판을 장착하는 것이 가능합니다.

슈퍼 텐션 클램프는 하단 클램프를 닫고 기판을 고정한 후 상단 클램프가 상승하여 기판에 텐션을 겁니다. 부드러운 플렉시블(flexible) 기판을 펼 수 있어 정확한 검사가 가능합니다. 옵션의 사이드 클램프를 사용하면 기판 좌우의 휨도 교정할 수 있습니다.

버큠 플레이트는 공기압으로 플렉시블 기판과 같은 부드러운 기판이나 두께가 얇은 기판등의 세팅 작업 효율을 크게 높일 수 있습니다.